日本仓敷 Kurashiki Kako PSB-D 被动隔振装置依托复合弹性隔振与内置阻尼协同技术,构建精密设备的振动防护核心体系,实现宽频振动的高效衰减。其采用 “弹性元件 + 阻尼器” 一体化设计,弹性主体选用高弹性天然橡胶与金属夹层复合结构,通过分子链优化使静态压缩量可在 5-25mm 范围内精准调控,配合定制化刚度设计,能针对 5-200Hz 的振动频率形成共振抑制,隔振效率达 90% 以上,较普通橡胶隔振器提升 50%。内置的油阻尼器采用粘性阻尼原理,通过活塞在阻尼油中运动产生的粘滞阻力,快速吸收冲击能量,可将瞬时冲击振动的衰减时间缩短至 0.3 秒以内,有效避免精密设备因冲击产生的位移偏移。针对不同负载需求,单台装置额定承载范围覆盖 50-5000N,且支持多台组合使用,形成三维空间的全方位隔振防护。
该隔振装置采用高刚性结构与耐候性材质组合,奠定复杂环境稳定运行基础。主体框架选用 SUS304 不锈钢材质,经精密焊接与表面钝化处理,抗腐蚀性能优异,可适应实验室、半导体洁净车间等不同环境;弹性元件表面覆盖耐油、耐老化的氟橡胶涂层,在 - 30℃-80℃的宽温域内保持弹性稳定,无脆裂或蠕变现象,使用寿命超 10 年。结构设计兼顾安装便捷性与稳定性,顶部与底部均配备标准化安装孔位,兼容螺栓固定与粘接固定两种方式,安装平面度误差允许范围达 ±0.5mm;内置水平调节机构,通过调节螺栓可微调装置水平度,确保设备安装后的水平精度≤0.1mm/m。此外,装置整体高度仅 80-150mm(根据承载规格),体积紧凑,可嵌入设备底座与地面之间,不占用额外空间。
凭借高效隔振与高适配性,PSB-D 已广泛应用于半导体设备、精密仪器、医疗影像等高端领域。在半导体光刻机中,多台 PSB-D 组合使用,可有效隔离地面传来的 5-100Hz 振动,将光刻机工作台的振动位移控制在 ±2nm 以内,保障光刻线宽精度;在电子显微镜中,其快速冲击衰减特性可吸收设备运行及周边环境的瞬时振动,使电子束成像的清晰度提升 40%,满足纳米级观测需求;在医疗 MRI 核磁共振设备中,通过抑制环境振动对磁场的干扰,可将影像分辨率提升至 0.1mm,提高病灶诊断的准确性。此外,该装置通过 SEMI S2 认证,适配半导体洁净车间的严苛要求,与同系列 PSB-A(标准型)、PSB-S(小型)形成负载梯度覆盖,可根据设备重量(从几十公斤到数吨)灵活配置,部分型号支持定制低磁导率版本,适配磁敏感设备的隔振需求。
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